| Gsemi-S系列 | |
| 植??球??精??度 | ±20 |
| 植球能力范圍 | ≥150um |
| 漏?????球?????率 | ≤0.01%（正常產(chǎn)品無(wú)翹曲） |
| 最大產(chǎn)品尺寸 | 基板：300*300mm????????????????晶圓：4/6/8/12英寸 |
| 最小產(chǎn)品尺寸 | 基板：50*50mm????????????????????晶圓：4/6/8/12英寸 |
| 產(chǎn)品厚度尺寸 | 基板：0.4~6mm（含載具）????晶圓：≥200μm |
| 鋼網(wǎng)框架尺寸 | 550*650mm~737*737mm(厚度：20：40mm） |
| 傳輸方向 | 左進(jìn)右出、右進(jìn)左出、同進(jìn)同出 |
| 清洗方式 | 粘輪+真空吸+離子風(fēng) |
| 功率要求 | AC：220?±10%, 50/60Hz 2.2KW |
| 設(shè)備尺寸 | L1240mm*W1410mm*H1500mm(不含三色燈） |
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